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FS4001微小气体流量传感器

FS4001微小气体流量传感器

FS4001

FS4001微小气体流量传感器

特性

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FS4001系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列 传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径,成本低、易安装、不需 要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。

- 传感器灵敏度高,有极小的始动流量

- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传

- 感器的高精度计量

- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高

- 传感器的零点稳定度高

- 全量程高稳定性

- 全量程高精确度和优良的重复性

- 低功耗

- 低压损

- 响应时间快

性能参数

FS4001

单位

通 径

1.0

1.8

mm

最大流量

30, 100, 200

500, 1000

SCCM

量程比

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重复性

0.25

%读数

零点输出飘移

±30

mV

输出飘移

±0.12

%/oC

响应时间

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作电源

8~18Vdc,50mA

输出方式

线性,RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc

最大流量压损

350

300

pa

最大工作压力

0.5

MPa

工作温度

-10 ~ +55

oC

存储温度

-20 ~ +65

oC

工作湿度

<95%RH(无结冰、无凝露)

机械接口

可拆式软管接头

校准方式

空气(或其他气体),20oC,101.325kPa

重量

15

g

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