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FS4003/FS4008气体流量传感器

FS4003/FS4008气体流量传感器

FS4000

FS4003/FS4008气体流量传感器

特性

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FS4000是美国矽翔微机电系统有限公司采用世界领先的微机电系统(MEMS)流量传感器技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该 传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)

FS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围最大到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。

- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计

- 支持多种连接方式,易于安装与使用

- 传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量

- 输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压

- 零点稳定度高

- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

- 低功耗、低压损

- 响应速度快

性能参数

FS4003

FS4008

单位

通 径

3

8

mm

最大流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重复性

0.25

%

零点输出飘移

±30

mV

输出飘移

±0.12

%/℃

响应时间

10(默认,50,100,200,500,1000可设置)

msec

工作电源

8~18Vdc,50mA

输出方式

线性,RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc

最大流量压损

100

600

Pa

最大工作压力

0.5

MPa

工作温度

-10 ~ + 55

存储温度

-20 ~ + 65

工作湿度

<95%RH(无结冰、无凝露)

机械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头

校准方式

空气(或其他气体),20℃,101.325kPa

重量

57(带R1/4,BSPT1/4接口)

71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头)

g

输出方式为传感器的标准输出方式,用户可根据不同需求选择RS232或RS485输出。

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